德國(guó)Microworks高襯度x射線分辨率測(cè)試卡
常規(guī)X射線成像很大程度上依靠便捷的工具來(lái)評(píng)估各檢測(cè)系統(tǒng)的性能，也就是分辨率測(cè)試卡。Yxlon International和Microworks現(xiàn)在已經(jīng)簽署了一項(xiàng)許可協(xié)議，Microworks將把與Yxlon International共同開(kāi)發(fā)的分辨率測(cè)試卡商業(yè)化，并面向全球市場(chǎng)。該分辨率測(cè)試卡使用了Microworks在高縱橫比精細(xì)結(jié)構(gòu)制備上積累多年的X射線光刻經(jīng)驗(yàn)，提供了17個(gè)測(cè)試區(qū)域，布局如下。可以檢測(cè)0.3μm到5um的分辨率，并采用了厚度超過(guò)3μm的金作為吸收材料，以獲得更好的X射線襯度對(duì)比。
布局
0.3 μm line pattern
分辨率測(cè)試卡參數(shù)
Outer dimension | 8 mm x 8 mm chip size |
Materials | Substrate: 200 μm thick silicon, Absorber: 3 μm high gold |
L/S widths | Tolerance: +/-10% |
Pattern period [μm] | 5.0, 4.0, 3.2, 2.5, 2.0, 1.6, 1.3, 1.0, 0.9, 0.8, 0.7, 0.6, 0.5, 0.45, 0.4, 0.35, 0.3 (17 steps) |
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北京眾星聯(lián)恒科技有限公司作為Microworks公司中國(guó)區(qū)授權(quán)總代理商，為中國(guó)客戶提供Microworks所有產(chǎn)品的售前咨詢，銷售及售后服務(wù)。我司始終致力于為廣大科研用戶提供專業(yè)的x射線產(chǎn)品及解決方案。