使用Mo靶x射線微焦源Iμs搭建實驗室桌面掠入射廣角X射線散射(GIWAXS)系統(tǒng)
2021-12-06 18:35:00
Kelsey
使用Mo靶x射線微焦源搭建
實驗室桌面GIWAXS系統(tǒng)
斯洛伐克科學院物理研究所的研究員Karol Vegso博士和其學生Ashin Shaji博士搭建了首臺實驗室桌面掠入射廣角X射線散射(GIWAXS)系統(tǒng)。該系統(tǒng)使用了德國Incoatec先進的Mo靶IuS x射線微焦源（左側(cè)）E=17.45 keV以及光子計數(shù)型、像素化X射線探測器，中間是CVD腔體。
通過該系統(tǒng)可以觀察到MoO3硫化過程中，MoO3到MoO2再到MoS2的轉(zhuǎn)變過程。通過X射線衍射，化學氣相沉積(CVD)室內(nèi)的化學反應(yīng)。
同時Karol Vegso還搭建一套桌面式GIWAXS系統(tǒng)用于測量數(shù)層過渡金屬硫化物(TMD)的薄層測量，如二硫化鉬(MoS2)或鉑二硒化物(PtSe2)等非常有應(yīng)用前景的半導(dǎo)體薄膜。
