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低至亞微米分辨!高分辨、高靈敏度X射線CCD/sCMOS相機(jī)

2022-11-07 10:02:37

根據(jù) X 射線能量轉(zhuǎn)換為相應(yīng)電荷的方式不同,X 射線相機(jī)可以分為間接和直接探測(cè)兩類。目前基于光子計(jì)數(shù)的像素化 X 射線直接探測(cè)器, 得益于其高探測(cè)效率、零噪聲、高幀率、能量窗口篩選能力,低點(diǎn)擴(kuò)散等特點(diǎn),使得其在 X 射線衍射,散射,關(guān)聯(lián)光譜等弱光或有時(shí)間分辨要求的應(yīng)用得到廣泛的應(yīng)用,在 X 射線能譜成像領(lǐng)域帶來了質(zhì)的飛躍,目前商業(yè)化的醫(yī)用能譜 CT 已經(jīng)面世。此項(xiàng)技術(shù)的發(fā)展充分踐行科學(xué)技術(shù)造福人類的終極目的,從基礎(chǔ)研究及應(yīng)用,到科學(xué)裝置,隨之是實(shí)驗(yàn)室及商業(yè)化醫(yī)學(xué)應(yīng)用。

但是目前光子計(jì)數(shù)的像素化 X 射線直接探測(cè)器的最小像素尺寸為 55μm*55μm,其不能滿足 X 射線微納 CT、顯微成像,計(jì)量學(xué)等應(yīng)用方向?qū)τ诟∠袼氐男枨?。因此,目?strong style="box-sizing: border-box;">高分辨 X 射線間接探測(cè)相機(jī)在如上領(lǐng)域具有不可替代的作用。

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X 射線間接探測(cè)相機(jī)基本原理及類型

X 射線間接探測(cè)相機(jī)基本結(jié)構(gòu)是高能的 X 射線打在閃爍體上,隨之轉(zhuǎn)為可見光,部分可將光通過光學(xué)耦合器件耦合到后端的 CCD 或 CMOS 傳感器上。光學(xué)耦合器件包含兩種:透鏡和光錐或光學(xué)面板。

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 透鏡組耦合

 光錐耦合

主要性能差異-透鏡組耦合VS光錐耦合

  1. 光錐耦合 X 射線相機(jī)的的光傳輸效率是透鏡耦合的 4 倍。主要是因?yàn)楣忮F的耦合效率高;

  2. 透鏡耦合 X 射線相機(jī)的空間分辨率可以低至亞微米水平,但是光錐不行,是因?yàn)楣忮F的光纖尺寸為幾個(gè)微米。

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捷克 RITE 公司的低至亞微米分辨的高性能X射線 CCD/sCMOS 相機(jī)

捷克 RITE 公司主要提供透鏡耦合(fiber coupled,LC)和光錐耦合(fiber coupled,F(xiàn)C)兩種高分辨間接探測(cè)X射線相機(jī)。進(jìn)一步根據(jù)傳感器不同,可分為電荷耦合(CCD)和互補(bǔ)型金屬氧化物(CMOS)兩種版本。探測(cè)器采用一體化結(jié)構(gòu),小巧緊湊,結(jié)實(shí)堅(jiān)固,易操作易集成,從原材料的采購(gòu),到生產(chǎn)及成品測(cè)試都經(jīng)過嚴(yán)格的把關(guān),不僅性能優(yōu)越而且堅(jiān)固耐用。適用于微米及亞微米的 X 射線顯微成像、X 射線顯微 CT、X 射線計(jì)量學(xué)等應(yīng)用。

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XSight? LC 透鏡耦合高分辨 X 射線相機(jī)

主要特點(diǎn)

  1. 多個(gè)鏡頭可簡(jiǎn)單切換,實(shí)測(cè)空間分辨率500nm-7μm;

  2.  緊湊堅(jiān)固的設(shè)計(jì),可防止因散射的 X 射線直接撞擊傳感器而產(chǎn)生噪聲;

  3.  一體化設(shè)計(jì),易于安裝和操作,無(wú)需水冷,USB 傳輸,軟件友好。可提供真空版本,光譜范圍可擴(kuò)展到 EUV 能段。

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XSight? LC

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 真空版-EUV 

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 可更換鏡頭單元

規(guī)格參數(shù)

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XSight? LC 透鏡耦合高分辨 X 射線相機(jī)搭建在理學(xué) nano 3D X 射線顯微系統(tǒng)中:

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應(yīng)用示例

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蜱蟲

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0.4 micron resolution


關(guān)于RITE

Rigaku Corporation 于 2008 年在捷克首都布拉格成立了 Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (下簡(jiǎn)稱“RITE”),配有多個(gè)專業(yè)的 X 射線實(shí)驗(yàn)室,作為日本理學(xué)在歐洲的 X 射線光學(xué)鏡片設(shè)計(jì)、開發(fā)和制造中心。 盡管理學(xué)在 2008 年才成立 RITE,但是 RITE 前身卻在業(yè)內(nèi)有著超過 50 年的發(fā)展歷史。團(tuán)隊(duì)創(chuàng)始成員來自捷克科學(xué)院和捷克理工大學(xué),參與了多項(xiàng)(原)捷克斯洛伐克空間探測(cè)項(xiàng)目,是目前捷克 X 射線光學(xué)領(lǐng)域的領(lǐng)先研究學(xué)者。憑借自身在 X 射線、極紫外光學(xué)領(lǐng)域多年的積累,除了承擔(dān)母公司理學(xué)的研發(fā) (R&D) 任務(wù)以外,RITE 秉承著開放合作的理念,也直接向全球的工業(yè)客戶、實(shí)驗(yàn)室科研用戶提供標(biāo)準(zhǔn)或定制型 EUV/X-RAY 光學(xué)鏡片和高分辨 X 射線相機(jī)等。

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司作為捷克 RITE 公司中國(guó)區(qū)授權(quán)總代理商,為中國(guó)客戶提供 RITE 所有產(chǎn)品的售前咨詢,銷售及售后服務(wù)。我司始終致力于為廣大科研用戶提供專業(yè)的 EUV、X 射線產(chǎn)品及解決方案。如果您有任何問題,歡迎聯(lián)系我們進(jìn)行交流和探討。

了解RITE光學(xué)復(fù)制技術(shù)以創(chuàng)新為先導(dǎo),聚焦EUV極紫外/X射線光學(xué)器件的研發(fā)- 捷克RITE



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