1）緊湊堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，防止散射X射線干擾

XSight相機(jī)具有緊湊堅(jiān)固的機(jī)身，可以防止散射的x射線直接擊中傳感器，從而產(chǎn)生噪音。

2）可更換鏡頭單元 ，實(shí)現(xiàn)250 nm-6 μm空間分辨

XSight相機(jī)機(jī)身最多可以使用五個(gè)XSight Micron LC Lens Unit鏡頭單元，每個(gè)鏡頭單元都具備特定的視場(chǎng)和分辨率，可以通過卡口實(shí)現(xiàn)快速更換。使得XSight相機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)250 nm至6 μm的真實(shí)空間分辨率（實(shí)測(cè)圖如下）。

3）安裝和操作簡(jiǎn)便

一體化設(shè)計(jì)，易于安裝和操作。相機(jī)可使用相機(jī)機(jī)身底部的 M6 螺紋輕松安裝至用戶平臺(tái)，無需額外的電子設(shè)備箱或水冷卻器，只需將USB3.0數(shù)據(jù)線插入計(jì)算機(jī)即可開始拍攝圖像！并且提供簡(jiǎn)單易操作的軟件，集成多種基本應(yīng)用。

4）可提供真空版本，光譜范圍可擴(kuò)展到EUV能段

傾斜刃邊法（Slanted Edge Method）是一種常用的相機(jī)空間分辨率測(cè)量方法，主要用于評(píng)估成像系統(tǒng)的空間分辨能力。測(cè)試過程如下：首先，使用相機(jī)照射一個(gè)銳利的邊緣目標(biāo)，如金屬，通過捕獲的圖像獲得邊緣擴(kuò)展函數(shù)（ESF），進(jìn)而計(jì)算線擴(kuò)展函數(shù)（LSF）和調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）。LSF的半高全寬（FWHM）即為該相機(jī)當(dāng)前的空間分辨率。由于測(cè)量的目標(biāo)是相機(jī)的分辨率，因此需要盡量排除X射線源和系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對(duì)結(jié)果的影響。如下圖：

因?yàn)樯渚€源始終存在焦斑寬度a，導(dǎo)致物點(diǎn)在成像面上的投影為一個(gè)拓展斑，成像分辨率下降，因此應(yīng)該選用盡量小焦斑的X射線源，如微焦點(diǎn)X射線源，并且將刀邊樣品盡量貼近相機(jī)，使系統(tǒng)放大倍率為1，并傾斜于相機(jī)像素放置，用相機(jī)拍攝刀邊的圖像，確保邊緣清晰可見。如下圖：

選擇視場(chǎng)中心位置進(jìn)行計(jì)算ESF，方法為在所選位置繪制一條垂直或水平的剖面線，并根據(jù)該線提取對(duì)應(yīng)的灰度值，生成灰度剖面曲線，構(gòu)建ESF函數(shù)，以表示系統(tǒng)對(duì)邊緣的響應(yīng)。

接下來，對(duì)ESF函數(shù)進(jìn)行微分，可以得到線擴(kuò)展函數(shù)（LSF）。接著對(duì)LSF進(jìn)行洛倫茲擬合，即可計(jì)算出半高全寬（FWHM），這便是相機(jī)的空間分辨率。如果進(jìn)一步對(duì)LSF進(jìn)行傅里葉變換，就可以得到該相機(jī)對(duì)空間頻率的響應(yīng)，即MTF。如下圖：

使用分辨率測(cè)試卡測(cè)試相機(jī)分辨率是一種更為直接的方法，優(yōu)勢(shì)在于操作簡(jiǎn)單，可直觀地評(píng)估分辨率，觀察相機(jī)得到的圖像能清晰分辨測(cè)試卡上的線對(duì)。但測(cè)試卡有一個(gè)明確定義的結(jié)構(gòu)分布，只能評(píng)估測(cè)試卡上所列的圖案尺寸。

需要注意的是與傾斜刃邊法相同，需要使用微焦點(diǎn)X射線源，并且將分辨率測(cè)試卡放置在源和相機(jī)之間，并貼近相機(jī)。然后將三者對(duì)齊，保持需要成像的圖案位于相機(jī)靶面中心，設(shè)定相機(jī)的曝光參數(shù)并進(jìn)行X射線照射，獲取圖像后分析測(cè)試卡上的線條或圖案。

分辨率測(cè)試卡與光路圖如下:

使用分辨率測(cè)試卡對(duì)XSight Micron LC 0540 sCMOS相機(jī)（老款）進(jìn)行實(shí)測(cè)，相機(jī)分辨率為0.8 μm，其實(shí)測(cè)圖與線剖面圖如下：

Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (下簡(jiǎn)稱“RITE”)于2008年在捷克首都布拉格成立 ，配有多個(gè)專業(yè)的X射線實(shí)驗(yàn)室，RITE前身卻在業(yè)內(nèi)有著超過50年的發(fā)展歷史。團(tuán)隊(duì)創(chuàng)始成員來自捷克科學(xué)院和捷克理工大學(xué)，參與了多項(xiàng)（原）捷克斯洛伐克空間探測(cè)項(xiàng)目，是目前捷克X射線光學(xué)領(lǐng)域的領(lǐng)先研究學(xué)者。憑借自身在X射線、極紫外光學(xué)領(lǐng)域多年的積累，RITE秉承著開放合作的理念，向全球的工業(yè)客戶、實(shí)驗(yàn)室科研用戶提供標(biāo)準(zhǔn)或定制型 EUV/X-RAY光學(xué)鏡片和高分辨X射線相機(jī)等。

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司作為捷克RITE公司中國(guó)區(qū)授權(quán)總代理商，為中國(guó)客戶提供RITE所有產(chǎn)品的售前咨詢，銷售及售后服務(wù)。我司始終致力于為廣大科研用戶提供專業(yè)的EUV、X射線產(chǎn)品及解決方案。如果您有任何問題，歡迎聯(lián)系我們進(jìn)行交流和探討。

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