產(chǎn)品介紹:
X射線光柵的制作流程
吸收光柵
(a)準(zhǔn)備光柵膠層
(b)掩膜光刻膠層在X射線下曝光
(c)形成精細(xì)的光刻膠結(jié)構(gòu)
(d)電鍍金形成X射線光柵結(jié)構(gòu)
產(chǎn)品特點(diǎn):
高縱橫比結(jié)構(gòu)
極小周期
大面積X射線
標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)面積
4英寸基板: 70~90mm的直徑
6英寸基板:高達(dá)110mm(在某些情況有限制)
更大尺寸選項(xiàng)
拼接多個(gè)光柵面板
在單個(gè)制作工藝上擴(kuò)大結(jié)構(gòu)面積(研發(fā))
彎曲光柵
椎束照射高縱橫比光柵,為了避免影像影響,可采用彎曲光柵,可使用特殊的夾具來運(yùn)輸
公司介紹:
德國(guó)Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)微技術(shù)研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術(shù),Microworks為客戶提供高精度微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。在微納米技術(shù)領(lǐng)域,Microworks代表著高精度。在一個(gè)晶片內(nèi)或者從一個(gè)晶片到另一個(gè)晶片,其高縱橫比和精度可以遠(yuǎn)低于1μm。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器(選頻濾波器)、微彈簧,RF等。
加工能力
材質(zhì) | 金( Au)、鎳( Ni)(其它材質(zhì)請(qǐng)咨詢我們) |
周期 | 低至亞微米量級(jí) |
高度 | 可達(dá)數(shù)百微米甚至毫米級(jí) |
尺寸 | Φ10- 70mm (典型) 160 x 90 mm2(最大) |
襯底 | 硅、聚酰亞胺、石墨 |
標(biāo)準(zhǔn)光柵組:
設(shè)計(jì)能量 | 40KeV |
光柵周期 | 6.0 μm |
G2光柵布局 | Φ70 mm |
吸收材料及高度 | 金:120 - 160 μm |
G0和G2光柵占空比 | 0.55 |
G1光柵占空比 | 0.5 |
G0和G2光柵襯底 | |
G1光柵襯底 | 200μm厚、4英寸、雙面拋光硅晶圓 |
其他對(duì)稱光柵組:
? 8 keV, 2.4 μm period, 50 mm x 50 mm
? 20 keV, 4.8 μm period, diameter: 70 mm
? 55 keV, 8.0 μm period, diameter: 100 mm
主要應(yīng)用:
用于Talbot干涉儀的X射線光柵
![]() | |
![]() | 微焦源Talbot干涉成像儀 光源:微焦X射線管 E=25keV 加速電壓:40KV 電流:120 μA G1:周期4.37 μm(Ni) G2: 周期2.4μm(Au) |
![]() | 在SR裝置BL-14C線站的Talbot干涉實(shí)驗(yàn) E=17.8 keV Al 濾片 2.0 mm G1:周期 2.4 μm (Ni) G2:周期 2.4 μm (Au) |
德國(guó) Microworks X射線光柵、微結(jié)構(gòu)-Flyer.pdf
如下是選取的2021年部分使用Microworks光柵進(jìn)行光柵法相襯成像方法及應(yīng)用研究所發(fā)表的文章及簡(jiǎn)介:
1. Andrejewski, Jana, et al. "Whole-body x-ray dark-field radiography of a human cadaver." European Radiology Experimental 5.1 (2021): 1-9.
背景:基于光柵的 X 射線暗場(chǎng)和相襯成像允許提取關(guān)于折射和小角度散射的信息,超出常規(guī)衰減成像的能力。最近實(shí)現(xiàn)了臨床轉(zhuǎn)化的一小步,允許對(duì)人類進(jìn)行進(jìn)一步研究。
方法:在倫理委員會(huì)批準(zhǔn)后,我們以前后方向掃描了人類尸體的全身。六個(gè)測(cè)量值拼接在一起形成全身圖像。所有射線照片均在三光柵、大物體、X射線暗場(chǎng)掃描儀上拍攝,每次持續(xù)約40秒。評(píng)估了不同解剖區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度。使用不同的體模材料分析了由光束硬化而不是小角度散射引起的能見度降低的幅度。腹部的最大有效劑量為0.3 mSv。
結(jié)果:在整個(gè)人體中結(jié)合吸收和暗場(chǎng)射線照相在技術(shù)上是可能的。在幾個(gè)骨結(jié)構(gòu)、異物和肺中發(fā)現(xiàn)了高信號(hào)水平。肺的信號(hào)水平為 0.25 ± 0.13(平均值 ± 標(biāo)準(zhǔn)偏差),骨骼為 0.08 ± 0.06,軟組織為 0.023 ± 0.019,抗生素珠鏈為 0.30 ± 0.02。我們發(fā)現(xiàn)不會(huì)產(chǎn)生小角度散射的模體材料可以產(chǎn)生強(qiáng)烈的能見度降低信號(hào)。
結(jié)論:我們?cè)趲追昼妰?nèi)獲得了人體的全身X線暗場(chǎng)圖像,且有效劑量在臨床可接受的范圍內(nèi)。我們的研究結(jié)果表明,觀察到的骨骼和金屬的能見度降低主要是由光束硬化引起的,因此肺中的真實(shí)暗場(chǎng)信號(hào)要比骨頭高得多。
2. Massimi, Lorenzo, et al. "Detection of involved margins in breast specimens with X-ray phase-contrast computed tomography." Scientific reports 11.1 (2021): 1-9.
摘要:在保乳手術(shù)中,通過組織學(xué)測(cè)試廣泛的局部切緣,這會(huì)使結(jié)果延遲數(shù)天并導(dǎo)致第二次手術(shù)。在術(shù)中檢測(cè)切緣將允許在同一介入期間去除額外的組織。X射線相襯成像 (XPCI) 提供優(yōu)于傳統(tǒng)X 射線的軟組織靈敏度:我們建議使用它來檢測(cè)術(shù)中切緣。我們開發(fā)了一個(gè)系統(tǒng),可以在幾分鐘內(nèi)執(zhí)行基于相位襯度的計(jì)算機(jī)斷層掃描 (CT) 掃描,使用它對(duì)101個(gè)樣本進(jìn)行成像,其中大約一半包含腫瘤病變,并將結(jié)果與商業(yè)系統(tǒng)的結(jié)果進(jìn)行比較。對(duì)所有標(biāo)本進(jìn)行組織學(xué)分析并用作黃金標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于檢測(cè)邊緣病,XPCI-CT 顯示出比傳統(tǒng)標(biāo)本成像(32%、95% CI 20-49%)具有更高的靈敏度(83%、95% CI 69-92%),并且具有可比的特異性(83%、95% CI 70–92% 與 86%、95% CI 73–93%)。在本研究的范圍內(nèi),特別是從剩余組織中獲得的通常包含小病灶的樣本,這使得兩種方法的檢測(cè)都更加困難,我們認(rèn)為,觀察到的靈敏度增加可能會(huì)導(dǎo)致手術(shù)次數(shù)的相應(yīng)減少。
3. Clayton, Daniel J., et al. X-Ray Phase Contrast Imaging for Dynamic Material Mix Experiments, LAO-003-17, Year 3 of 3. No. DOE/NV/03624-1009. Nevada National Security Site (NNSS), North Las Vegas, NV (United States), 2021.
摘要:用于密度分布測(cè)量的基于透射光柵的射線相襯成像已經(jīng)開發(fā)并測(cè)試用于動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)應(yīng)用。Talbot-Lau X射線偏轉(zhuǎn)測(cè)量法是一種除衰減和超小角度散射之外的測(cè)量 X 射線折射的新方法,最近已開發(fā)用于靜態(tài)成像,主要用于醫(yī)療和工業(yè)應(yīng)用。為了從快速演化的系統(tǒng)中獲得密度分布,我們必須使用光斑尺寸遠(yuǎn)大于使用連續(xù)微聚焦源的靜態(tài)成像系統(tǒng)的閃光X射線源,而且我們只能獲得一次曝光。解決了從單幅圖像、低空間分辨率系統(tǒng)測(cè)量?jī)煞N混合元素的電子密度分布的挑戰(zhàn),并在 2018 財(cái)年末到2019年財(cái)年初,在氣體發(fā)射器上進(jìn)行了首次動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)并得到了初步結(jié)果。在2019 財(cái)年,我們?cè)O(shè)計(jì)并建造了一款專為雷管實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的新型偏轉(zhuǎn)計(jì),以測(cè)試新技術(shù)以提高診斷的靈敏度和可靠性。
4. Nelson, Brandon J., et al. "Empirical beam hardening and ring artifact correction for x‐ray grating interferometry (EBHC‐GI)." Medical physics 48.3 (2021): 1327-1340.
目的: Talbot-Lau光柵干涉測(cè)量法能夠使用多色X射線源,從而擴(kuò)展了適用于相襯成像的潛在應(yīng)用范圍。然而,這些源不僅從樣品而且從光柵引入了射束硬化效應(yīng)。當(dāng)于多色光源一起使用時(shí),由于制造缺陷造成的光柵不均勻性會(huì)導(dǎo)致光譜不均勻性偽影。因此,吸收、相位和可見度對(duì)比度的不同能量依賴性帶來了迄今為止限制可實(shí)現(xiàn)的圖像質(zhì)量的挑戰(zhàn)。這項(xiàng)工作的目的是為基于光柵的 X 射線成像開發(fā)和驗(yàn)證一種校正策略,該策略解決了從成像對(duì)象和光柵產(chǎn)生的射束硬化。
方法: 所提出的雙變量多項(xiàng)式擴(kuò)展策略的靈感來自于為解決來主動(dòng)調(diào)制器的光束硬化而執(zhí)行的工作。考慮到光柵干涉測(cè)量的多重對(duì)比度特性,這種方法被擴(kuò)展到每個(gè)對(duì)比度以獲得三組校正系數(shù),這些系數(shù)是從校準(zhǔn)掃描憑經(jīng)驗(yàn)確定的。使用桌面 Talbot-Lau 光柵干涉儀微計(jì)算機(jī)斷層掃描 (CT) 系統(tǒng)采集帶表低和高原子序數(shù)材料的水樣和硅樣品的CT結(jié)果,證明了該方法的可行性。使用來自無束硬化目標(biāo)圖像的均方誤差 (MSE) 和樣本重建圖像內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)偏差對(duì)諸如杯突和環(huán)形偽影之類的光譜偽影進(jìn)行量化。最后,將使用水樣開發(fā)的模型應(yīng)用于固定的鼠肺樣本,以證明對(duì)類似材料的穩(wěn)健性。
結(jié)果: 水樣的吸收 CT 圖像受光譜偽影的影響最大,但經(jīng)過校正以減少環(huán)形偽影后,觀察到均方誤差(MSE) 降低了 80%,標(biāo)準(zhǔn)偏差降低了57%。硅樣品在所有對(duì)比度中都產(chǎn)生了嚴(yán)重的偽影,但經(jīng)過校正,吸收的均方誤差(MSE)的降低了 94%,相位降低了 96%,可見度圖像降低了 90%。這些改進(jìn)是由于消除了所有對(duì)比度的環(huán)形偽影,減少了吸收和相位圖像中的杯突以及減少了可見性圖像中的覆蓋問題。當(dāng)水校準(zhǔn)系數(shù)應(yīng)用于肺樣本時(shí),吸收對(duì)比度中最突出的環(huán)形偽影被消除。
結(jié)論: 所描述的方法是為了消除由于系統(tǒng)光柵和成像對(duì)象中的射束硬化而導(dǎo)致的吸收、相位和歸一化可見性顯微CT圖像中的偽影,將均方誤差(MSE) 降低了96%。該方法依賴于可以在任何系統(tǒng)上執(zhí)行的校準(zhǔn),并且不需要詳細(xì)了解X射線光譜、探測(cè)器能量響應(yīng)、光柵衰減特性和缺陷,或成像對(duì)象的幾何形狀和成分。