公司介紹：NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學(xué)配件的研發(fā)與銷售經(jīng)驗。在全球范圍內(nèi)，通過與眾多來自同步輻射科學(xué)，阿秒科學(xué)，高強度物理學(xué)等領(lǐng)域的科學(xué)研究者開展緊密合作，積累了大量獨特的設(shè)計與制造技術(shù)，其產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)享有很高的評價。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率，高聚光效率等特點，適合被各種輻射光設(shè)施使用。另外，分辨率測試卡被當(dāng)作業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)。不只是學(xué)術(shù)研究，在X射線的檢查裝置開發(fā)現(xiàn)場也被廣
光柵類型 | 非等間距曲槽矩形光柵*1 |
基底材料 | BK-7 or 相近材質(zhì) |
尺寸公差 | ±0.2(W)×±0.2(H) |
中心厚度公差 | ±0.5(T) |
刻線區(qū)域 | 去除距離四周邊（小于2mm條紋）的區(qū)域 |
有效區(qū)域 | 去除距離四周邊（小于5mm條紋）的區(qū)域 |
刻線密度公差 | ±0.5% |
劃痕和挖痕 | 80-50 (in accordance with MIL-O-13830A) |
Code number | Groove density(at grating center) N (grooves/m m) | Wavelength range λ1-λ2 (mm) | Detector length length L (mm) | r (mm) | α (deg.) | Mounting parameters r1' β1 r2' β2 (mm) (deg.) (mm) (deg.) | ri' (mm) | βi (deg.) | Dimensions WxHxT (mm) | coating material | |||
30-001 | 2400 | 1-6 | 23.5 | 237 | 88.65 | 235.6 | 85.81 | 238.5 | 80.17 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-002 | 1200 | 5-20 | 25.3 | 237 | 87 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-003 | 2400 | 1-7 | 26.8 | 236.7 | 88.6 | 235.8 | 85.79 | 239.5 | 79.39 | 235 | 90.53 | 50x30x10 | Au |
30-004 | 2400 | 0.6-4 | 19.4 | 236.8 | 88.65 | 233.9 | 86.64 | 235.8 | 81.94 | 233.5 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-005 | 1200 | 3.5-8.5 | 11.1 | 237 | 87.07 | 234.8 | 83.98 | 236.2 | 81.3 | 233.5 | 90 | 50x30x10 | Ni |
30-006 | 300 | 20-80 | 25.3 | 237 | 87 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
NTT-SXR反射光柵 datasheet 2022.4.24.pdf
NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學(xué)配件的研發(fā)與銷售經(jīng)驗。在全球范圍內(nèi)，通過與眾多來自同步輻射科學(xué)，阿秒科學(xué)，高強度物理學(xué)等領(lǐng)域的科學(xué)研究者開展緊密合作，積累了大量獨特的設(shè)計與制造技術(shù)，其產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)享有很高的評價。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率，高聚光效率等特點，適合被各種輻射光設(shè)施使用。另外，分辨率測試卡被當(dāng)作業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)。不只是學(xué)術(shù)研究，在X射線的檢查裝置開發(fā)現(xiàn)場也被廣泛使用。XUV鏡片，XUV濾波片不僅對阿秒科學(xué)有著幫助，對下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領(lǐng)域給予客戶在研發(fā)上最大的幫助。
Code number | Groove density(at grating center) N (grooves/m m) |
Wavelength range λ1-λ2 (mm) | Detector length length
L
(mm) |
r (mm) |
α
(deg.) |
Mounting parameters r1' β1 r2' β2 (mm) (deg.) (mm) (deg.) |
ri' (mm) |
βi (deg.) |
Dimensions WxHxT (mm) |
coating material | |||
30-001 | 2400 | 1-6 | 23.5 | 237 | 88.65 | 235.6 | 85.81 | 238.5 | 80.17 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-002 | 1200 | 5-20 | 25.3 | 237 | 87 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
30-003 | 2400 | 1-7 | 26.8 | 236.7 | 88.6 | 235.8 | 85.79 | 239.5 | 79.39 | 235 | 90.53 | 50x30x10 | Au |
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30-005 | 1200 | 3.5-8.5 | 11.1 | 237 | 87.07 | 234.8 | 83.98 | 236.2 | 81.3 | 233.5 | 90 | 50x30x10 | Ni |
30-006 | 300 | 20-80 | 25.3 | 237 | 87 | 236.7 | 83.04 | 241.1 | 77.07 | 235 | 90 | 50x30x10 | Au |
NTT-SXR反射光柵 datasheet 2022.4.24.pdf