獨(dú)家授權(quán)-極紫外/X射線哈特曼波前傳感器

沙克-哈特曼（或有時(shí)哈特曼-沙克）波前傳感器是最常見(jiàn)的波前傳感器類(lèi)型，以約翰內(nèi)斯·弗朗茨·哈特曼和羅蘭·沙克的名字命名Hartmann-Shack波前傳感器用于激光光束表征，能夠?qū)崟r(shí)預(yù)測(cè)激光輻射的傳播行為，并對(duì)相干光源進(jìn)行M2測(cè)定：采用Fresnel-Kirchhoff積分方法，通過(guò)同時(shí)記錄強(qiáng)度和相位分布數(shù)據(jù)，可以計(jì)算出沿激光束路徑的任何位置（特別是焦平面）的光束輪廓。傳播后的輪廓與直接測(cè)得的相機(jī)

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沙克-哈特曼（或有時(shí)哈特曼-沙克）波前傳感器是最常見(jiàn)的波前傳感器類(lèi)型，以約翰內(nèi)斯·弗朗茨·哈特曼和羅蘭·沙克的名字命名

極紫外光刻技術(shù)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中，用于生產(chǎn)先進(jìn)的微電子芯片。EUV波前傳感器可用于監(jiān)測(cè)和控制EUV光源的波前特性，以確保高精度的圖案制作。

在天文學(xué)中，EUV輻射是研究恒星、行星大氣和宇宙射線等現(xiàn)象的重要工具。極紫外波前傳感器可幫助天文學(xué)家測(cè)量和分析EUV輻射的波前特性，以更好地理解宇宙中的各種現(xiàn)象。

在等離子體物理實(shí)驗(yàn)中，EUV輻射通常用于生成和研究高溫等離子體。極紫外波前傳感器可用于測(cè)量等離子體內(nèi)的波前畸變，有助于研究等離子體的性質(zhì)和行為。

EUV激光研究也是一個(gè)重要領(lǐng)域，需要對(duì)EUV光源進(jìn)行波前傳感測(cè)量，這對(duì)于開(kāi)發(fā)4EUV激光技術(shù)以及在科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用中使用EUV激光都至關(guān)重要。

總的來(lái)說(shuō)，極紫外波前傳感器在研究和應(yīng)用EUV輻射的領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用，有助干測(cè)量和控制EUV光源的波前特性，從而提高各種應(yīng)用的精確性和效率。

沙克-哈特曼（或有時(shí)哈特曼-沙克）波前傳感器是最常見(jiàn)的波前傳感器類(lèi)型，以約翰內(nèi)斯·弗朗茨·哈特曼和羅蘭·沙克的名字命名，用于激光光束表征，能夠?qū)崟r(shí)預(yù)測(cè)激光輻射的傳播行為，并對(duì)相干光源進(jìn)行M2測(cè)定：采用Fresnel-Kirchhoff積分方法，通過(guò)同時(shí)記錄強(qiáng)度和相位分布數(shù)據(jù)，可以計(jì)算出沿激光束路徑的任何位置（特別是焦平面）的光束輪廓。傳播后的輪廓與直接測(cè)得的相機(jī)數(shù)據(jù)非常吻合，這在處理非常小的焦點(diǎn)和波動(dòng)光源的情況下尤為重要。

Hartmann-Shack極紫外波前傳感器在各種領(lǐng)域中的應(yīng)用主要集中在波前校正、光學(xué)系統(tǒng)性能優(yōu)化和波前畸變測(cè)量等方面，以確保精確的波前控制和光學(xué)系統(tǒng)的高質(zhì)量性能。

產(chǎn)品特點(diǎn)

Hartmann wavefront sensor for coherent and incoherent radiation
Compact and self-supporting
Achromatic
Actinic characterization of: EUVL plasma sources / Free Electron Lasers / HHG beams
Real-time optics adjustment
Single-pulse repeatability λ/116(wrms) for EUV ( λ=13.5 nm)