盡管全球科技格局面臨諸多不確定性，未來的世界也許是割裂的，但是尖端技術(shù)的火種始終在文明長(zhǎng)河中始終會(huì)奔涌不息。極紫外（EUV）與X射線技術(shù)作為突破物理極限的關(guān)鍵領(lǐng)域，正在推動(dòng)基礎(chǔ)科學(xué)、半導(dǎo)體、精密檢測(cè)等行業(yè)的深刻變革。

作為深耕極紫外（EUV）及X射線核心部件領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)商和解決方案的探索者，眾星聯(lián)恒始終以"技術(shù)瞭望者"的視角，捕捉全球最新的行業(yè)資訊和技術(shù)前沿動(dòng)態(tài)。

在本研究中，研究人員破了中紅外OPCPA系統(tǒng)的極限，在3μm（10 kHz）處實(shí)現(xiàn)了>1 mJ的脈沖能量。這些脈沖是朝著在實(shí)驗(yàn)室裝置中通過高次諧波（HHG）產(chǎn)生水窗口外（500-900 eV）相干軟X射線邁出的關(guān)鍵一步，為在3d金屬磁二向色性L吸收邊進(jìn)行超快成像和光譜研究開辟了新的可能性。

文章鏈接：https://doi.org/10.1063/5.0254045

由中紅外飛秒激光器驅(qū)動(dòng)的高次諧波上轉(zhuǎn)換可在桌面級(jí)裝置中產(chǎn)生相干軟X射線光束。文章報(bào)道了一種緊湊型鐿泵浦光參量啁啾脈沖放大器 (OPCPA) 激光系統(tǒng)，該系統(tǒng)采用全光纖前端作為種子源，并采用周期極化鈮酸鋰 (PPLN) 非線性介質(zhì)，工作在接近目前市售 PPLN 晶體脈沖能量極限的水平。

該 OPCPA 可在 1 kHz 重復(fù)頻率下輸出波長(zhǎng)為 3 μm、能量為 775 μJ 的脈沖，脈沖寬度達(dá)到變換極限的 120 fs，光束質(zhì)量達(dá)到衍射極限，并在超過 18 小時(shí)內(nèi)保持 0.33% 均方根值的超高能量穩(wěn)定性。利用該激光器，研究人員將氬氣中的軟X射線高次諧波（HHG）聚焦到低損耗、高壓充氣反諧振空芯光纖（ARHCF）中，產(chǎn)生光子能量高達(dá)氬L邊（250 eV）和碳K邊（284 eV）的相干光，光束質(zhì)量高，能量穩(wěn)定性約為1% rms。

文章鏈接：https://doi.org/10.48550/arXiv.2504.01112

該研究小組使用電子束光刻和深度離子蝕刻技術(shù)加工了硅平面CRL鏡子，并在庫(kù)爾恰托夫研究所的RKFM光束線進(jìn)行了聚焦性能測(cè)試，其中使用了眾星聯(lián)恒合作伙伴捷克RITE公司的高分辨X射線相機(jī)對(duì)聚焦光斑的尺寸及強(qiáng)度分布進(jìn)行分析。

文章鏈接：https://doi.org/10.1134/S2635167624602389

“URASHIMA”是一種激光等離子體（LPP）光源，通過向高速旋轉(zhuǎn)的液化錫發(fā)射激光脈沖來產(chǎn)生EUV光。其設(shè)計(jì)針對(duì)光化學(xué)圖案化掩模檢測(cè)（APMI）工具“ACTIS”的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化，以最大限度地減少熱負(fù)荷并防止薄膜受損，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高亮度穿透薄膜掩模的檢測(cè)。激光產(chǎn)業(yè)獎(jiǎng)旨在表彰那些通過開發(fā)、實(shí)際應(yīng)用和傳播激光產(chǎn)品和技術(shù)，為日本激光相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出杰出貢獻(xiàn)的人士。

（Oscar Versolato 教授照片）

Oscar Versolato 于2011年獲得荷蘭格羅寧根大學(xué)博士學(xué)位，研究方向?yàn)榧す夤庾V學(xué)，主要針對(duì)被捕獲的短壽命鐳離子。他在德國(guó)海德堡的馬克斯·普朗克核物理研究所進(jìn)行了博士后研究，研究?jī)?nèi)容包括高電荷離子的光譜學(xué)與激光共振冷卻（與布倫瑞克的PTB合作），以及分子離子（與奧胡斯大學(xué)合作）的研究。自2014年起，Versolato開始在ARCNL從事源研究工作。自2019年起，他擔(dān)任ARCNL極紫外等離子體過程小組的終身組長(zhǎng)，并且是阿姆斯特丹自由大學(xué)的副教授。他目前的研究興趣包括極紫外輻射的等離子體源、激光脈沖撞擊后液滴形變與碎裂、高電荷離子的物理以及光譜學(xué)等領(lǐng)域。Versolato曾獲得2016年NWO Vidi研究資助、2018年ERC Starting grant和2022年ERC Consolidator grant。他是ARCNL源部門的負(fù)責(zé)人，并且是ARCNL及阿姆斯特丹自由大學(xué)管理團(tuán)隊(duì)的一員。

Intel前CEO Pat Gelsinger獲得了xLight執(zhí)行主席的新職位

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