? 關(guān)于RITE

Rigaku Corporation于 2008 年在捷克首都布拉格成立了Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o. (以下簡稱“RITE”)，配有多個(gè)專業(yè)的X射線實(shí)驗(yàn)室，作為日本理學(xué)在歐洲的 X 射線光學(xué)鏡片設(shè)計(jì)、開發(fā)和制造中心。

隨著EUV/XUV產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼，X射線各領(lǐng)域的研究也不斷深入，RITE專為這兩大類應(yīng)用提供性能優(yōu)越的光學(xué)元件。憑借自身在X射線、極紫外光學(xué)領(lǐng)域多年的積累，除了承擔(dān)母公司理學(xué)在EUV/XUV、軟X射線、硬X射線等設(shè)備的研發(fā) (R&D) 任務(wù)以外，RITE秉承著開放合作的理念，也直接向全球的工業(yè)客戶、實(shí)驗(yàn)室科研用戶提供標(biāo)準(zhǔn)或定制型EUV/X-RAY光學(xué)鏡片和高分辨間接X射線探測器等。

RITE實(shí)驗(yàn)室	EUV Replicated Optic

捷克RITE基于其先進(jìn)獨(dú)特的復(fù)制技術(shù) (Replication technology)，聚焦“超光滑Super Smooth”掠入射反射光學(xué)器件的研發(fā)設(shè)計(jì)，定制開發(fā)速度快，質(zhì)量高，工藝水平全球領(lǐng)先。擁有專利技術(shù)的工藝，能夠商業(yè)化生產(chǎn)直徑達(dá)300mm、段長達(dá)250mm，組合拼接后可達(dá)1000mm的光學(xué)器件。通過復(fù)制技術(shù)制作的光學(xué)元件具有低重量、高表面精度(低斜率誤差)和低表面粗糙度等特點(diǎn)。全反射鏡的另一個(gè)有趣的特性是使用各種金屬層作為涂層，最常用的材料有Ni、Au、Mo和Ru。

• 超高表面精度和更低的表面粗糙度
  

Ru鍍層的微觀粗糙度:

• 面形誤差精度

使用Taylor – Hobson輪廓儀測量,拋光前測得RMS (Δr) = 1.14 μm，拋光后測得RMS (Δr) = 0.109 μm 

• 更高的反射率

對(duì)于光學(xué)復(fù)制技術(shù)的擴(kuò)展，RITE可以設(shè)計(jì)和生產(chǎn)多箔光學(xué)鏡片(MFO)。

多箔光學(xué)鏡(Multi-Foil Optics, MFO)非常適合軟X射線、EUV波段和大視場的應(yīng)用，由兩組相互垂直的極薄反射鏡組成，光子通過掠入射角進(jìn)行反射?？筛鶕?jù)客戶要求快速定制開發(fā)多種形狀1D或2D的MFO（如龍蝦眼，Kirkptrick-Baez組等）。