1/0.5英寸13.5nm 極紫外多層膜反射鏡
1英寸、13.5nm多層膜反射鏡，實(shí)測反射率高達(dá)70%、現(xiàn)貨供應(yīng)、可以提供反射率測試。
- 產(chǎn)地： 德國
- 型號：
- 品牌： optiX fab
產(chǎn)品介紹
得益于北京眾星聯(lián)恒科技有限公司在中國X射線、極紫外的專注，近10年的積累，對于極紫外光學(xué)技術(shù)及中國有較為深入的了解。而德國optiXfab公司于2012年開始商業(yè)化Fraunhofer研究所的Mo/Si多層膜專利技術(shù)，至今已經(jīng)給客戶生產(chǎn)了近2萬片鏡片，中大多數(shù)都是半導(dǎo)體工業(yè)的客戶，如LLP光源的收集鏡及Schwarzschild物鏡等。經(jīng)過雙方充分的討論及密切，我們共同決定將在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用成熟的鍍膜技術(shù)推廣基于HHG，激光驅(qū)動等離子小型極紫外光源的科研應(yīng)用，針對中國市場聯(lián)合推出的1英寸的高性能13.5nm多層膜鏡片，并在中國辦公室備有庫存，以實(shí)現(xiàn)鏡片的快速交付。
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性能參數(shù)
EUV多層膜平面反射鏡 AOI = 5 ° | EUV多層膜平面反射鏡 AOI = 45 ° | EUV多層膜球面反射鏡 AOI = 5 ° | |
反射率 | Rs＞65% @13.5nm | Rs＞67% @13.5nm | Rs＞65% @13.5nm |
鍍膜材料 | Mo/Si | Mo/Si | Mo/Si |
AOI | 5° | 45° | 5° |
Bandwidth (FWHM) | appr. 500 pm | appr. 950 pm | appr. 500 pm |
基底 | fused silica | fused silica | fused silica |
尺寸 | 25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm | 25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm | 25.4 -0.1 mm/12.7-0.1 mm |
厚度 | 6.35 ±0.1 mm | 6.35 ±0.1 mm | 6.35 ±0.1 mm |
面形精度 | λ/20 @ 632.8 nm | λ/20 @ 632.8 nm | λ/20 @ 632.8 nm |
表面粗糙度 | σ< 0.2 nm rms | σ< 0.2 nm rms | σ< 0.2 nm rms |
曲率半徑 | - | - | 500 mm (± 1 %) |
實(shí)測反射率
主要應(yīng)用
極紫外相干衍射成像
極紫外顯微成像
極紫外光電子能譜
極紫外掩膜版檢測