產(chǎn)品介紹

得益于北京眾星聯(lián)恒科技有限公司在中國X射線、極紫外的專注，近10年的積累，對于極紫外光學(xué)技術(shù)及中國有較為深入的了解。而德國optiXfab公司于2012年開始商業(yè)化Fraunhofer研究所的Mo/Si多層膜專利技術(shù)，至今已經(jīng)給客戶生產(chǎn)了近2萬片鏡片，中大多數(shù)都是半導(dǎo)體工業(yè)的客戶，如LLP光源的收集鏡及Schwarzschild物鏡等。經(jīng)過雙方充分的討論及密切，我們共同決定將在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用成熟的鍍膜技術(shù)推廣基于HHG，激光驅(qū)動等離子小型極紫外光源的科研應(yīng)用，針對中國市場聯(lián)合推出的1英寸的高性能13.5nm多層膜鏡片，并在中國辦公室備有庫存，以實現(xiàn)鏡片的快速交付。

激光驅(qū)動的等離子極紫外光源通常是4Π發(fā)散的，為了盡量多的收集13.5nm in band光子，通常需要足夠大的收集立體角。我們可供大致700mm口徑的Mo/Si多層膜收集。通過鏡片可以承受極高的溫度，對于被污染的收集鏡子，我們可以提供翻新服務(wù)。

點擊相關(guān)閱讀

1、 EUV多層膜元件的反射率表征：從微觀到宏觀的極致優(yōu)化

性能參數(shù)

實測反射率曲線

高反

寬帶

翻新前后反射率對比

更多詳情，請聯(lián)系我們。