X射線深度光刻微加工技術：LIGA

LIGA 是德文的制版術Lithographie，電鑄成形Galvanoformung 和注塑Abformung 的縮寫。自20世紀80年代德國卡爾斯魯厄原子核研究所為制造微噴嘴創(chuàng)立LIGA技術以來，對其感興趣的國家日益增多，德、日、美相繼投入巨資進行開發(fā)研究。該技術被認為是最有前途的三維微細加工方法，具有廣闊的應用前景。與傳統(tǒng)微細加工方法相比，用LIGA技術進行超微細加工有如下特點：

1.可制造有較大深寬比的微結構。

2.取材廣泛，可以是金屬、陶瓷、聚合物、玻璃等。

3.可制作任意復雜圖形結構，精度高。

4.可重復復制，符合工業(yè)上大批量生產(chǎn)要求，成本低。

德國卡爾斯魯厄Karlsruhe是LIGA技術的發(fā)源地，來自Karlsruhe技術研究所與microworks GmbH的定制化高縱橫比微結構。LIGA工藝制造的微結構聚合物和金屬零件在x射線光學領域有著廣泛的應用，包括在在科研機構和工業(yè)領域，尤其在光柵法X相襯成像領域。

產(chǎn)品特點：

• 高縱橫比（>100）金屬或聚合物

• 立角約90°的平行側壁（1mm高的結構偏差~1μm

• 側壁光滑（表面粗糙度Ra 在10 nm范圍）

• 橫向精度在數(shù)微米范圍（數(shù)厘米距離下）

• 通過雙次曝光可得到多種側壁角度

參考文獻

德國 Microworks X射線光柵、微結構-Flyer

主要應用：

• X射線光柵 (Au ，Ni)

• X射線棱鏡(SU-8)

• X射線狹縫/針孔(Au)

• X射線準直器 (Au)

• 高級微結構零部件(Au)

公司介紹：Microworks

德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學院（KIT）微技術研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術，能為廣大科研用戶提供高度定制化的透射光柵和高精度微結構方案，在光柵法相襯成像領域，具有很好的口碑。在微納米技術領域，Microworks代表著高精度。在一個晶片內(nèi)或者從一個晶片到另一個晶片，其高縱橫比和精度可以遠低于1μm。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器（選頻濾波器）、微彈簧，RF等。

點擊前往：X射線光柵 光束截補器 Yxlon標準分辨率測試卡-高襯度

相關介紹：當LIGA技術與光柵法X射線 相襯成像相遇

相關介紹：LIGA技術制作X射線光學元件在X射線顯微學中的應用